紫外/臭氧清洗金屬類樣品表面污染
http://173kt.com 來源：天美（中國）科學儀器有限公司 時間：2014-08-21
樣品表面碳氫化合物污染是電子顯微鏡低加速電壓觀察經常遇到的問題。樣品在較高的加速電壓下(如20kv)看似很干凈無電子束污染，但在5kv及以下時則會看到清晰的污染現象。
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